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涂層三要素

以前的紅外線測厚儀的測量物接近紅外線波長厚度(20μm以下)時，由于光干涉的影響測量精度不良，特別是測量物為平滑物時，厚度在10μm以下時完全不能測量。
并且，不僅僅是光干涉影響，測量物表面反射和散亂等的影響也不能忽視。這樣就會有一種錯誤的想法，即測量膜的厚度等時，準確度明顯不如放射線方式。

本公司獨自的P偏光方式紅外線測厚儀可以解決這樣的難題。

如下圖所示那樣，P偏光是指相對入射面平行成分的光波，這個光波用偏光角(Brewster角)入射后不產生表面反射光。為了減少來自水面的反射，需要戴偏光眼鏡(偏光眼鏡)，這樣就容易理解了。

上圖是P偏光方式紅外線測厚儀傳感器頭的構成圖，將偏光鏡(偏振片) 設置在干涉濾波器后面，將偏光角入射P偏光。采用這種方式，以往用紅外線方式難測的金屬鏡面上樹脂薄膜和膜上極薄涂層等也能進行高精度的測量了。下圖為使用P偏光的膜厚儀結構圖。