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測量原理
檢量線

由于物質材質的差異在紅外線領域產(chǎn)生各種吸收。因此選擇最適合的波長帶,測量吸收量,從理論上講可以測量從0.1μm極薄涂層到數(shù)mm的厚涂層。所以我們很容易明白,在只測量對象物膜厚的加工業(yè)界中,可以選擇最合適波長帶的紅外線方式比起其他測量原理的測厚儀有很多優(yōu)勢。

測厚儀的實際應用,如下圖所示,預先輸入測試曲線即吸光度和膜厚的關系,用測試曲線實時地將實際測定的吸光度換算為厚度值。下圖表示膜厚與吸光度的關系。

并且,為了盡量減少傳感器的光源變動和光學系的污垢,及測量對象物的顏色和混濁等與膜厚變化沒有直接關系的外在影響,采用3波長方式不僅特性吸收波長,還采用在吸收波長的長波長、短波長的兩側使用比較波長的方法。